真空式ECR控制阀它中间有一个金属膜片,真空室在膜片上方或下方,视具体设计而定.排气流量取决于排气管的压力、进气管的真空度以及阀的开度.采用真空方式驱动的优点是：控制此真空阀的电磁阀可以远离高温排气,同时可以得到大的驱动力.缺点是机构复杂,响应速度慢.
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